產(chǎn)品型號(hào)

ME-L全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

2、可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理，測(cè)量信息量更大，測(cè)量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)

3、基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置，可一次測(cè)量獲得全部穆勒矩陣的16個(gè)元素，相對(duì)傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測(cè)量信息

4、確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對(duì)納米光柵的分析，可同時(shí)測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息

技術(shù)參數(shù)

1、應(yīng)用：科研級(jí)/企業(yè)級(jí)

2、基本功能：Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜

3、分析光譜：380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)

4、單次測(cè)量時(shí)間：1-8s

5、重復(fù)性測(cè)量精度：0.005nm

6、精度(直通測(cè)量空氣)

  橢偏參數(shù):ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩陣:對(duì)角元素m=1±0.005；非對(duì)角元素m=0±0.005

7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm；微光斑200μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動(dòng):45-90°

手動(dòng):55-75°(5°步進(jìn)),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺(tái):室溫一600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺(tái)

2

Mapping擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件