產(chǎn)品簡介

GSL-1800X-ZF-AM連續(xù)式多腔室蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)是一款高真空的可連續(xù)進樣的蒸發(fā)鍍膜儀，主要由傳遞室和蒸發(fā)鍍膜室兩部分組成，基片架可以在傳遞室和濺射室實現(xiàn)往復(fù)運動，由調(diào)頻電機控制，自動同步運行，且往復(fù)位置和運動速度均可以設(shè)定，兩室內(nèi)均有定位功能，可實現(xiàn)原點復(fù)位。特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有機物。本機設(shè)有4個蒸鍍加熱舟，每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍，加熱舟上方有一個可旋轉(zhuǎn)擋板，當(dāng)其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住，以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜理想且性價比較高的實驗設(shè)備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極，在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化，進而損壞電極。該機采用金屬腔室，具有高的真空度，真空度可達到5.0×10^-7torr，樣品臺可對樣品進行加熱，加熱溫度為室溫-500℃，是進行高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備。

主要特點

• 由傳遞室和蒸發(fā)鍍膜室兩大部分組成，可實現(xiàn)快速連續(xù)的進樣蒸發(fā)鍍膜。

• 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。

• 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

• 真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，提升效率）、1個CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、6個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，1個安裝2芯電極，1個安裝膜厚儀）3個備用。

• 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

• 樣品臺安裝在腔體的頂部。

• 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，膜厚測量分辨率（鋁）為0.1?。

• 可使用循環(huán)水冷機。

技術(shù)參數(shù)