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微型PECVD系統(tǒng)采用Φ 3“ × 16“ 的石英腔體，內(nèi)部設(shè)有加熱圈對(duì)樣品進(jìn)行加熱，Z高溫度可以達(dá)到400℃，且采用程序化控溫，系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵，整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上，便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線的制作是Z佳的選擇。

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá) 3″ ）的退火而設(shè)計(jì)，配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱，Z快升溫速度可達(dá) 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開啟式單溫區(qū)管式爐、機(jī)械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成，可為CVD或擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)提供1-3種的混合氣體，真空度可達(dá)10-2torr。

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，Z高工作溫度可達(dá)1200℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV是專門為在金屬箔表面生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的，特別是應(yīng)用在新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá) 3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，Z快升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。